Étude de la gravure cryogénique de métaux pour la réalisation de structures à fort aspect ratio

Détail de l'offre

Informations générales

Entité de rattachement

Le CEA est un acteur majeur de la recherche, au service des citoyens, de l'économie et de l'Etat.

Il apporte des solutions concrètes à leurs besoins dans quatre domaines principaux : transition énergétique, transition numérique, technologies pour la médecine du futur, défense et sécurité sur un socle de recherche fondamentale. Le CEA s'engage depuis plus de 75 ans au service de la souveraineté scientifique, technologique et industrielle de la France et de l'Europe pour un présent et un avenir mieux maîtrisés et plus sûrs.

Implanté au cœur des territoires équipés de très grandes infrastructures de recherche, le CEA dispose d'un large éventail de partenaires académiques et industriels en France, en Europe et à l'international.

Les 20 000 collaboratrices et collaborateurs du CEA partagent trois valeurs fondamentales :

• La conscience des responsabilités
• La coopération
• La curiosité
  

Référence

SL-DRT-27-0342  

Direction

DRT

Description du sujet de thèse

Domaine

Autre

Sujets de thèse

Étude de la gravure cryogénique de métaux pour la réalisation de structures à fort aspect ratio

Contrat

Thèse

Description de l'offre

De plus en plus de dispositifs nécessitent la réalisation de gravures à fort aspect ratio afin d’augmenter la surface développée tout en conservant une empreinte 2D réduite, c’est le cas des mémoires 3D. Dans le cas des FeRAM ou FeFET 3D, il est utile de graver ces structures profondes directement dans des métaux tels que W ou TiN, or ces gravures sont limitées pas une faible sélectivité au masque, une faible vitesse de gravure à petit CD et des profils déformés. La gravure cryogénique peut apporter des améliorations novatrices sur ces aspects, comme ça a été le cas pour le Si et les diélectriques SiO2/SiN, et l’étude avec de nouvelles chimies à faible GWP (ex: Cl2, BCl3, F2) peu explorées pour la cryogravure sont scientifiquement intéressantes

Université / école doctorale

Energie - Matériaux - Sciences de la Terre et de l’Univers (EMSTU)
Orléans

Localisation du sujet de thèse

Site

Grenoble

Critères candidat

Formation recommandée

Master 2 matériaux, génie des procédés pour la microélectronique

Demandeur

Disponibilité du poste

01/10/2027

Personne à contacter par le candidat

BLANC Romuald romuald.blanc@cea.fr
CEA
DRT/DIPTEC//LGS
bureau 444, bat 4123
17 rue des martyrs
38000 GRENOBLE
0438780147

Tuteur / Responsable de thèse

DUSSART Rémi remi.dussart@univ-orleans.fr
GREMI
UMR 7344
14 rue d'Issoudun
B.P. 6744
45067 ORLEANS Cedex 2
02 38 49 48 72

En savoir plus

https://www.linkedin.com/in/romuald-blanc-3b525653/

https://www.univ-orleans.fr/fr/gremi/