Informations générales
Entité de rattachement
Le CEA est un acteur majeur de la recherche, au service des citoyens, de l'économie et de l'Etat.
Il apporte des solutions concrètes à leurs besoins dans quatre domaines principaux : transition énergétique, transition numérique, technologies pour la médecine du futur, défense et sécurité sur un socle de recherche fondamentale. Le CEA s'engage depuis plus de 75 ans au service de la souveraineté scientifique, technologique et industrielle de la France et de l'Europe pour un présent et un avenir mieux maîtrisés et plus sûrs.
Implanté au cœur des territoires équipés de très grandes infrastructures de recherche, le CEA dispose d'un large éventail de partenaires académiques et industriels en France, en Europe et à l'international.
Les 20 000 collaboratrices et collaborateurs du CEA partagent trois valeurs fondamentales :
• La conscience des responsabilités
• La coopération
• La curiosité
Référence
SL-DRT-24-0315
Direction
DRT
Description du sujet de thèse
Domaine
Défis technologiques
Sujets de thèse
Vers une électronique durable : impact et compréhension du remplacement des gaz à fort GWP sur les procédés de gravure plasma
Contrat
Thèse
Description de l'offre
Afin de répondre aux préoccupations environnementales dans l’industrie de la micro-électronique, le CEA-LETI s’engage dans une démarche d’éco-innovation [1]. Dans ce sens, le développement de procédés éco-responsables permettant de réduire les émissions en PerFluoro-Carbone (PFC) est crucial [2]. Les procédés de gravure plasma constituent un émetteur majoritaire de PFC car ils utilisent traditionnellement des gaz à fort GWP. L’objectif de cette thèse portera sur le développement de procédés de gravure plasma sur des substrats 300mm en remplaçant les gaz fluorés tels que le NF3, le SF6 et le CF4 à fort GWP par le F2 (GWP ~0). Ces travaux passeront par la compréhension des modifications induites sur les procédés de gravure de dispositifs avancés. Le double enjeu est de réduire l’impact environnemental tout en garantissant les hautes performances de ces dispositifs.
Pour atteindre cet objectif, vous mettrez en œuvre de nouveaux mélanges à base de F2 sur des applications ciblées de gravure de matériaux et nettoyage de réacteur. Vous apporterez des éléments comparatifs des performances de ces nouveaux procédés à ceux de référence en terme de résultats de gravure et du niveau d’abattement des sous-produits de réaction.
Vous serez basé au Laboratoire de Gravure du CEA-LETI. Le travail, à dominante expérimental sur la plateforme 300mm du CEA-Leti (aperçu ici : https://www.youtube.com/watch?v=on1NH08AZfE), bénéficiera des équipements de procédés à l’état de l’art ainsi que des moyens de caractérisation de la plateforme de Nanotechnologies. L’intérêt scientifique et industriel du sujet vous garantit une valorisation de vos travaux lors de communications internationales. Vous souhaitez que vos recherches aient un impact sur la société, postulez dès maintenant !
* (Global Warning Potential – kg-CO2 équivalent)
[1] DAUVE Sébastien, DI CIOCCIO Léa, « Comment réduire l’impact environnemental de la microélectronique dans un domaine du semi-conducteur en pleine évolution ? », Annales des Mines - Responsabilité et environnement, 2023/2 (N° 110), p. 95-101.
[2] M. Renaud et.al., « Life Cycle Assessment of etching processes for FDSOI transistors technologies”, submitted to SPIE Adv. Litho. 2024
Université / école doctorale
Electronique, Electrotechnique, Automatique, Traitement du Signal (EEATS)
Université Grenoble Alpes
Localisation du sujet de thèse
Site
Grenoble
Critères candidat
Formation recommandée
M2 ou Ingénieur en Sciences et Génie des Matériaux / Plasma
Demandeur
Disponibilité du poste
01/10/2024
Personne à contacter par le candidat
BOIXADERAS Christelle christelle.boixaderas@cea.fr
CEA
DRT/DPFT//LGRA
17 rue des Martyrs
38000 Grenoble
0438780637
Tuteur / Responsable de thèse
BOULARD François francois.boulard@cea.fr
CEA
DRT/DPFT/SPAT/LGRA
CEA Grenoble, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble
0438782270
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