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Entité de rattachement
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• La conscience des responsabilités
• La coopération
• La curiosité
Référence
SL-DRT-24-0562
Direction
DRT
Description du sujet de thèse
Domaine
Défis technologiques
Sujets de thèse
Etude des mécanismes mis en jeu dans le collage direct de l’InP et de l’AsGa.
Contrat
Thèse
Description de l'offre
Le collage direct consiste en la mise en contact de surfaces suffisamment lisses et propres, afin de créer une adhésion entre elles sans apport de matière extérieure. Cette technologie présente de nombreux intérêts pour la réalisation de structures empilées pour la microélectronique et les micro-technologies et a donné lieu à de nombreuses innovations (fabrication du SOI par SmartCut TM, fabrication du SmartSiC TM, réalisation de MEMS, wafer level packaging, intégration 3D…). Aujourd’hui la montée en puissance des technologies photoniques et le développement du collage direct puce à plaque ouvrent la voie à l’intégration de matériaux comme l’InP et l’AsGa dans le monde du silicium. Afin de pousser ces développements nous souhaitons étudier les mécanismes de collage de ces matériaux qui n’ont pas encore été établis dans la littérature.
La thèse consistera à étudier les mécanismes de collage direct de l’InP et de l’AsGa :
Une première partie de l’étude consistera à caractériser finement la surface de ces matériaux lors des préparations avant collage (type de liaisons créées, type d’oxyde, quantité d’eau adsorbée…).
Puis l’impact de l’eau dans la mise en place de l’adhérence sera tout particulièrement étudié en regard avec les mécanismes établis pour le silicium et son oxyde. La sensibilité à la corrosion sous contrainte des oxydes de surface d’InP et d’AsGa sera évaluée. Des études par spectroscopie infrarouge et réflectivité de rayons-X au synchrotron étayeront les conclusions.
Un dernier axe concernera les propriétés mécaniques de ces matériaux pour mieux comprendre leur intégration au sein d’hétérostructures. Leur transition ductile-fragile sera caractérisée à l’aide de collages sur du silicium ou d’autres substrats (silice, saphir…).
Le candidat sera formé à l’ensemble des outils technologiques de salle blanche permettant la réalisation de collages directs (nettoyages chimiques, polissage CMP, collage, recuits thermiques) et leur caractérisation (spectroscopie infrarouge, microscopie acoustique, mesure d’énergie de collage anhydre, réflectivité des rayons X, spectrométrie de masse...).
Université / école doctorale
Ecole Doctorale de Physique de Grenoble (EdPHYS)
Université Grenoble Alpes
Localisation du sujet de thèse
Site
Grenoble
Critères candidat
Formation recommandée
Master recherche en chimie de surface/couche mince
Demandeur
Disponibilité du poste
01/10/2024
Personne à contacter par le candidat
LICITRA Christophe christophe.licitra@cea.fr
CEA
DRT/DPFT/SSURF/LSCID
CEA Grenoble
17 rue des Martyrs
38054 GRENOBLE Cedex 9
04 38 78 56 41
Tuteur / Responsable de thèse
FOURNEL Frank frank.fournel@cea.fr
CEA
DRT/DPFT
CEA/Grenoble
LETI/DTSI/SSURF
17 rue des Martyrs
38054 Grenoble
0438782142
En savoir plus
https://www.linkedin.com/in/christophe-licitra-bonding/