Informations générales
Entité de rattachement
Le CEA est un acteur majeur de la recherche, au service des citoyens, de l'économie et de l'Etat.
Il apporte des solutions concrètes à leurs besoins dans quatre domaines principaux : transition énergétique, transition numérique, technologies pour la médecine du futur, défense et sécurité sur un socle de recherche fondamentale. Le CEA s'engage depuis plus de 75 ans au service de la souveraineté scientifique, technologique et industrielle de la France et de l'Europe pour un présent et un avenir mieux maîtrisés et plus sûrs.
Implanté au cœur des territoires équipés de très grandes infrastructures de recherche, le CEA dispose d'un large éventail de partenaires académiques et industriels en France, en Europe et à l'international.
Les 20 000 collaboratrices et collaborateurs du CEA partagent trois valeurs fondamentales :
• La conscience des responsabilités
• La coopération
• La curiosité
Référence
SL-DRT-24-0645
Direction
DRT
Description du sujet de thèse
Domaine
Défis technologiques
Sujets de thèse
Visualisation des mécanismes d'incorporation de dopants dans des semi-conducteurs fortement dopés à l'aide de combinaisons de techniques (S)TEM haute résolution
Contrat
Thèse
Description de l'offre
Contexte : Il existe un besoin en spécimens semi-conducteurs très fortement dopés pour le développement continu de dispositifs CMOS Si/Ge et pour le dopage de matériaux III-V où l'énergie d'ionisation conduit à une faible concentration de porteurs. Afin de fournir ces spécimens hautement dopés, de nouvelles méthodes de croissance et d’implantation sont nécessaires. Ceux-ci doivent être mieux compris et caractérisés avec une résolution à l’échelle nm.
Sujet proposé : Nous combinerons diverses techniques de microscope électronique à transmission (S)TEM (à balayage), telles que l'holographie électronique, la diffraction électronique à précession, la spectroscopie et l'imagerie haute résolution sur le même spécimen. Des techniques avancées de traitement des données seront développées afin de combiner les différentes cartes pour fournir des informations sur la concentration totale de dopants, la quantité de dopants sur les sites de substitution et les concentrations de dopants actifs. Ce travail fournira une méthodologie pour évaluer l'efficacité des différents processus utilisés pour le dopage dans la recherche avancée sur les CMOS. Cela inclut le FD-SOI 10 nm et moins, la source et les drains surélevés et intégrés, Si:P, SiGe:B, basse température/Coolcube.
Université / école doctorale
Ecole Doctorale de Physique de Grenoble (EdPHYS)
Université Grenoble Alpes
Localisation du sujet de thèse
Site
Grenoble
Critères candidat
Formation recommandée
Sciences des matériaux
Demandeur
Disponibilité du poste
01/09/2024
Personne à contacter par le candidat
BERNIER Nicolas nicolas.bernier@cea.fr
CEA
DRT/LETI/DPFT/SMCP/L2MD
0438784767
Tuteur / Responsable de thèse
COOPER David david.cooper@cea.fr
CEA
DRT/DPFT
Commissariat à l’Energie Atomique
CEA - LETI MINATEC
17, rue des Martyrs - 38054
Grenoble Cedex 9
04 38 78 91 27
En savoir plus